반도체용 정전척·스퍼터링 타겟·FOUP 파티클 검사장치

기사 제공처 : 개미신문 / 등록기자: 김태봉 [기자에게 문의하기] /

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반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스(JEDEX)가 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, FOUP 등 그동안 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 나노급 초미세 공정 대응을 위해 개발됐다.

제덱스 엔지니어들이 ‘M802ESC’ 장치의 출하검사를 진행하고 있다

M802ESC는 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로 인해 기존 방식으로는 정량적 평가가 쉽지 않았던 부품들의 검사가 가능해졌다는 점이 가장 큰 특징이다. 또한 직경 610mm 이내 시료 대응과 최대 50kg 하중 설계를 적용했다.

M802ESC는 기본 0.1µm 이상 입자 검출이 가능하며, 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클까지 계수할 수 있다. X·Y·Z 로봇 제어 기반 스캔 노즐 방식을 통해 표면의 약 90% 영역을 균일하게 검사한다.

특히 비접촉 방식의 고효율 입자 추출 시스템을 구현해 시료를 오염시키지 않으면서 입자를 분리·회수한다. 특허 기반 회수 헤드와 입자 확산 방지 구조를 적용해 검사 중 2차 오염을 원천 차단했다. 또한 ULPA 필터 기반 Class 1 초청정 환경을 유지해 데이터 신뢰도를 확보한다.

제덱스는 M802ESC의 출시로 이제까지 정량적 검사가 어려웠던 부품까지 데이터 기반 평가가 가능해지면서 공정 수율 관리의 패러다임이 바뀔 것이라고 밝혔다.

제덱스 소개

제덱스는 2000년 설립돼 반도체, 디스플레이, 우주항공, 정밀기계, 정밀전자 산업에 필요한 표면입자계수기, 부품입자평가장치를 비롯한 파티클 검사장치를 개발해 국내외 빅테크와 중소기업에 공급하고 있으며, 파티클의 관리와 제거를 위한 기술 컨설팅, 고객 시료의 파티클을 평가하는 랩을 운영하고 있다. 주요 브랜드로 ParticlePro, ParticleHouse 등이 있다. 경기도 용인시 기흥구 소재 흥덕아이티밸리에 본사와 연구소가 위치해 있다. 수출 비중이 80% 이상으로, 주요 빅테크 기업의 표준장비로 채택된 장비들을 다수 공급하고 있다.